LEXT OLS5000 3D測量鐳射顯微鏡配備的兩套光學系統(彩色成像光學系統和鐳射共焦光學系統)讓其能夠獲取彩色資訊₪₪◕、高度資訊和高解析度影象₪☁。
鐳射共聚焦顯微鏡有4大關鍵價值↟✘:
價值1↟✘:捕捉任意表面形狀₪☁。
OLS5000顯微鏡的先進技術使其能夠進行高解析度的3D樣品測量₪☁。
價值2₪₪◕、快速獲得可靠資料
該顯微鏡的掃描演算法既可提高資料質量又可提高速度✘☁,從而縮短您的掃描時間✘☁,簡化您的工作流程✘☁,最終實現生產力的提升₪☁。
價值3₪₪◕、使用簡單✘☁,只需放置樣品並按一下按鈕即可
鐳射共聚焦顯微鏡特點↟✘:
[獲取彩色資訊]
彩色成像光學系統使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色資訊₪☁。
[獲取3D 高度資訊和高解析度共焦影象]
鐳射共焦光學系統採用405奈米鐳射二極體光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦影象₪☁。淺焦深使其能夠用於測量樣品的表面不規則性₪☁。
[405奈米鐳射光源]
光學顯微鏡的橫向解析度隨著波長的減小而獲得提升₪☁。採用短波長鐳射的鐳射顯微鏡相比採用可見光(峰值550奈米)的傳統顯微鏡具有更優的橫向解析度₪☁。 OLS5000顯微鏡利用405奈米短波長鐳射二極體獲得卓越的橫向解析度₪☁。
[鐳射共焦光學系統]
鐳射共焦光學系統僅接收透過圓形針孔聚焦的光線✘☁,並非採集從樣品上反射和散射的所有光線₪☁。這樣有助於消除模糊✘☁,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的影象
[X-Y掃描器]
OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學掃描器₪☁。透過將採用電磁感應MEMS諧振掃描器的X軸與採用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合✘☁,能夠讓X-Y掃描器定位於相對物鏡瞳鏡共軛的位置✘☁,因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的卓越X-Y掃描₪☁。
[高度測量原理]
在測量高度時✘☁,顯微鏡透過自動移動焦點位置獲取多個共焦影象₪☁。
根據非連續的焦點位置(Z)和檢測光強度(I)可以估算每個畫素的光強變化曲線(I-Z曲線)✘☁,並獲得其峰值位置和峰值強度₪☁。由於所有畫素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應✘☁,因此可以獲得樣品表面的3D形狀資訊₪☁。與此類似✘☁,透過峰值強度資料可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的影象(擴充套件影象)₪☁。