鐳射共聚焦顯微鏡

LEXT OLS5000 3D測量鐳射顯微鏡配備的兩套光學系統（彩色成像光學系統和鐳射共焦光學系統）讓其能夠獲取彩色資訊₪₪◕、高度資訊和高解析度影象₪☁。

鐳射共聚焦顯微鏡有4大關鍵價值↟✘：

• 捕捉任意表面形狀₪☁。
• 快速獲得可靠資料₪☁。
• 使用簡單 - 只需放置樣品並按一下按鈕即可₪☁。
• 測量具有挑戰性的樣品₪☁。

價值1↟✘：捕捉任意表面形狀₪☁。

OLS5000顯微鏡的先進技術使其能夠進行高解析度的3D樣品測量₪☁。

價值2₪₪◕、快速獲得可靠資料

該顯微鏡的掃描演算法既可提高資料質量又可提高速度✘☁，從而縮短您的掃描時間✘☁，簡化您的工作流程✘☁，最終實現生產力的提升₪☁。

價值3₪₪◕、使用簡單✘☁，只需放置樣品並按一下按鈕即可

鐳射共聚焦顯微鏡特點↟✘：

[獲取彩色資訊]
彩色成像光學系統使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色資訊₪☁。
[獲取3D 高度資訊和高解析度共焦影象]
鐳射共焦光學系統採用405奈米鐳射二極體光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦影象₪☁。淺焦深使其能夠用於測量樣品的表面不規則性₪☁。

[405奈米鐳射光源]

光學顯微鏡的橫向解析度隨著波長的減小而獲得提升₪☁。採用短波長鐳射的鐳射顯微鏡相比採用可見光（峰值550奈米）的傳統顯微鏡具有更優的橫向解析度₪☁。 OLS5000顯微鏡利用405奈米短波長鐳射二極體獲得卓越的橫向解析度₪☁。

[鐳射共焦光學系統]

鐳射共焦光學系統僅接收透過圓形針孔聚焦的光線✘☁，並非採集從樣品上反射和散射的所有光線₪☁。這樣有助於消除模糊✘☁，讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的影象

[X-Y掃描器]

OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學掃描器₪☁。透過將採用電磁感應MEMS諧振掃描器的X軸與採用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合✘☁，能夠讓X-Y掃描器定位於相對物鏡瞳鏡共軛的位置✘☁，因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的卓越X-Y掃描₪☁。

[高度測量原理]

在測量高度時✘☁，顯微鏡透過自動移動焦點位置獲取多個共焦影象₪☁。
根據非連續的焦點位置（Z）和檢測光強度（I）可以估算每個畫素的光強變化曲線（I-Z曲線）✘☁，並獲得其峰值位置和峰值強度₪☁。由於所有畫素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應✘☁，因此可以獲得樣品表面的3D形狀資訊₪☁。與此類似✘☁，透過峰值強度資料可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的影象（擴充套件影象）₪☁。