奧林巴斯MX63/MX63L顯微鏡具備有如下的特點◕·✘:
從不可見到可見◕·✘:MIX觀察與採集·↟。
新MX63/MX63L顯微鏡是該系列首個支援奧林巴斯MIX照明功能的產品✘↟↟✘◕,由此進一步提升了該顯微鏡的觀察能力·↟。MIX可將暗場與明場✘│、熒光或偏振等其他觀察方法結合使用·↟。在很多應用中✘↟↟✘◕,MIX能夠幫助使用者觀察到使用傳統顯微鏡難以看到的缺陷·↟。
長壽命高強度白色LED照明◕·✘:始終一致的色溫·↟。
新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強度白光LED光源✘↟↟✘◕,兼顧低功耗和長壽命的優點✘↟↟✘◕,而且其穩定的色溫為可靠的影象質量和精確的色彩復現提供了保障·↟。
功能性◕·✘:適合所有晶園尺寸·↟。
新MX63/MX63L顯微鏡特別適用於半導體✘│、平板顯示✘│、印製電路板等行業的大尺寸樣品檢測·↟。MX63可用於最大晶圓直徑200mm✘↟↟✘◕,MX63L可用於最大晶圓直徑300mm·↟。此外✘↟↟✘◕,新顯微鏡還可以選配晶園搬送機✘↟↟✘◕,實現可靠✘│、安全✘│、高效的對晶圓正面和背面進行檢測·↟。
模組化◕·✘:全面可定製·↟。
新奧林巴斯MX63/MX63L顯微鏡的模組化設計讓檢測者能夠根據應用需要選擇元件·↟。兩款顯微鏡均按潔淨室應用而設計✘↟↟✘◕,並符合SEMI S2/S8✘│、CE和UL要求·↟。所有電動元件均安裝在遮蔽結構內✘↟↟✘◕,鏡架✘│、鏡筒以及其他部件均經過防靜電處理·↟。
人性化◕·✘:滿足人體工學的設計·↟。
新MX63/MX63L顯微鏡採用人體工學設計✘↟↟✘◕,可以快速設定調整和簡易控制·↟。更換物鏡以及調整孔徑光闌的控制位於顯微鏡前面較低的位置✘↟↟✘◕,因此使用者在使用過程中可始終保持透過目鏡觀察而無須鬆開對焦旋鈕·↟。電動物鏡轉盤旋轉迅速✘↟↟✘◕,在縮短檢測間隔時間的同時還可讓操作者的手始終在晶圓下方✘↟↟✘◕,降低可能存在的汙染風險·↟。
憑藉這些強大的觀察功能和簡單的操作特性✘↟↟✘◕,MX63/MX63L顯微鏡能夠實現快速高效的實現大尺寸樣品檢測·↟。