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白光干涉顯微鏡的原理是什麼·☁?有哪些應用·☁?
釋出時間╃│✘•✘:2022/4/24 11:37:54   點選次數╃│✘•✘:157次

  白光干涉顯微鏡目前在3D檢測領域是精度最高的測量儀器之一◕☁▩,在同等系統放大倍率下檢測精度和重複精度都高於共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡◕☁▩,在一些奈米級和亞奈米級的超精密加工領域◕☁▩,除了白光干涉儀◕☁▩,其它的儀器無法達到其加工精度要求▩•│◕☁。
  
  白光干涉顯微鏡的原理╃│✘•✘:
  
  光源發出的光經過擴束準直後經分光稜鏡後分成兩束◕☁▩,一束經被測表面反射回來◕☁▩,另外一束光經參考鏡反射◕☁▩,兩束反射光最終匯聚併發生干涉◕☁▩,顯微鏡將被測表面的形貌特徵轉化為干涉條紋訊號◕☁▩,透過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌▩•│◕☁。白光干涉三維形貌儀是利用光學干涉原理研製開發的超精密表面輪廓測量儀器▩•│◕☁。照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光◕☁▩,分別投射到樣品表面和參考鏡表面▩•│◕☁。
  
  從兩個表面反射的兩束光再次透過分光鏡後合成一束光◕☁▩,並由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像▩•│◕☁。由於兩束光相互干涉◕☁▩,在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋▩•│◕☁。干涉條紋的亮度取決於兩束光的光程差◕☁▩,根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現的位置解析出被測樣品的相對高度▩•│◕☁。
  
  白光干涉顯微鏡的應用╃│✘•✘:
  
  用來測量三維微觀形貌的▩•│◕☁。白光干涉儀可廣泛應用於半導體制造及封裝工藝檢測•◕✘✘、3C電子玻璃屏及其精密配件•◕✘✘、光學加工•◕✘✘、微納材料及製造•◕✘✘、汽車零部件•◕✘✘、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天•◕✘✘、國防軍工•◕✘✘、科研院所等領域中▩•│◕☁。可測各類從超光滑到粗糙•◕✘✘、低反射率到高反射率的物體表面◕☁▩,從奈米到微米級別工件的粗糙度•◕✘✘、平整度•◕✘✘、微觀幾何輪廓•◕✘✘、曲率等▩•│◕☁。

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