原子力顯微鏡集成了“非接觸式工作模式”“智慧掃描模式”“基於壓電陶瓷堆積技術的平板掃描器”技術✘•,並標配快速掃描模式✘•,變速掃描模式✘•,多種測量模式可選✘•,被廣泛用於半導體✘•,LCD✘•,LED✘•,OLED✘•,硬碟等工業領域◕•╃▩•。
原子力顯微鏡的技術特色╃↟↟✘₪:
1.採用非接觸式工作模式╃↟↟✘₪:非接觸測量模式✘•,在不影響測量精度的前提下✘•,可實現樣品與針尖的非接觸測量✘•,避免了由於針尖磨損帶來測量重複性差與探針磨損快的缺點◕•╃▩•。
2.探測器噪聲水平低╃↟↟✘₪:Z軸探測器是顯微鏡的核心技術改進之一✘•,新型應變感測器✘•,憑藉著超低噪聲✘•,檢測原子臺階及其容易◕•╃▩•。
3.採用高效能平板掃描器╃↟↟✘₪:三軸分離的平板掃描器✘•,在整個掃描範圍內誤差小◕•╃▩•。
4.操作極其簡單╃↟↟✘₪:具有“智慧掃描模式”✘•,使用者只需要選擇掃描速度及掃描範圍✘•,系統即可自動調整反饋✘•,無需尋找共振峰✘•,無需調整反饋引數gain值◕•╃▩•。
5.具有中文✘•,英文等多種操作介面✘•,
6.預準直懸臂架✘•,懸臂在裝載時鐳射便已完成聚焦◕•╃▩•。自上而下的同軸視角可以輕鬆地找到鐳射光點◕•╃▩•。由於鐳射垂直照射在懸臂上✘•,可以憑直覺旋動兩個定位旋鈕✘•,將鐳射光點隨著X軸和Y軸移動◕•╃▩•。這樣✘•,可以在鐳射準直介面中✘•,輕易地找到鐳射並將其定位在PSPD上◕•╃▩•。只需要稍作調整實現訊號的最大化✘•,便可開始獲取資料◕•╃▩•。
7.工業級別的XEA軟體╃↟↟✘₪:具有自動識別✘•,自動掃描✘•,自動分析功能✘•,大大節約了人工操作的誤差及浪費的時間◕•╃▩•。
原子力顯微鏡在市場中競爭力最強✘•,不但有著全行業最低的電流噪聲✘•,且增益範圍也是最大✘•,並且可實現電流快速掃描功能✘•,是半導體測試電流的標準◕•╃▩•。
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