鐳射共聚焦顯微鏡配備的兩套光學系統(彩色成像光學系統和鐳射共焦光學系統)讓其能夠獲取彩色資訊▩·↟◕、高度資訊和高解析度影象✘↟。彩色成像光學系統使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色資訊✘↟。鐳射共焦光學系統採用奈米鐳射二極體光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦影象✘↟。淺焦深使其能夠用於測量樣品的表面不規則性✘↟。光學顯微鏡的橫向解析度隨著波長的減小而獲得提升✘↟。採用短波長鐳射的鐳射顯微鏡相比採用可見光的傳統顯微鏡具有更優的橫向解析度✘↟。顯微鏡利用奈米短波長鐳射二極體獲得卓越的橫向解析度✘↟。
鐳射共聚焦顯微鏡鐳射共焦光學系統僅接收透過圓形針孔聚焦的光線◕✘│☁,並非採集從樣品上反射和散射的所有光線✘↟。這樣有助於消除模糊◕✘│☁,讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的影象✘↟。顯微鏡配有奧林巴斯光學掃描器✘↟。透過將採用電磁感應MEMS諧振掃描器的X軸與採用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合◕✘│☁,能夠讓X-Y掃描器定位於相對物鏡瞳鏡共軛的位置◕✘│☁,因而能夠實現具有較低掃描軌跡失真和較小光學像差的卓越X-Y掃描✘↟。
鐳射共聚焦顯微鏡在測量高度時◕✘│☁,顯微鏡透過自動移動焦點位置獲取多個共焦影象✘↟。根據非連續的焦點位置和檢測光強度可以估算每個畫素的光強變化曲線◕✘│☁,並獲得其峰值位置和峰值強度✘↟。由於所有畫素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應◕✘│☁,因此可以獲得樣品表面的3D形狀資訊✘↟。與此類似◕✘│☁,透過峰值強度資料可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的影象✘↟。
上一篇✘↟╃:; OLYMPUSBX53顯微鏡的八個使用技巧◕✘│☁,值得收藏
下一篇✘↟╃: 超景深數碼顯微鏡在半導體制造行業的應用